離子泵如何提高對惰性氣體的抽氣效率？
發布日期：2026-4-1 10:07:21 訪問次(ci)數(shu)：281
惰(duo)性氣體（如(ru)(ru)氬氣）不(bu)能通過化學吸附(fu)作用進行抽除；因此，必(bi)須將(jiang)這(zhe)些惰(duo)性氣體原(yuan)子引向(xiang)陽(yang)(yang)極(ji)，并在陽(yang)(yang)極(ji)被抽除。實現這(zhe)一過程有(you)兩種方式：使(shi)用更重的(de)陰極(ji)材料（如(ru)(ru)鉭），或采(cai)用不(bu)同的(de)幾何結(jie)構(gou)（如(ru)(ru) Triode 結(jie)構(gou)）。
