問題一(yi)： 普發(fa) HiPace 700 分(fen)子泵(beng)的核心參數是多少(shao)？有(you)哪些子型號可選(xuan)？

解(jie)答（參數與選型篇）：

HiPace 700 是德國普發真空旗下的高(gao)性能(neng)渦輪分子泵，氮氣抽(chou)速(su)達(da) 685 L/s，搭載 TC 400 集成驅動單元，支持任意方向安裝，廣泛用于半導體、鍍膜、OLED、科研等高真空應用場景。

核(he)心參(can)數一(yi)覽(lan)：

參數項(xiang)	規格
抽速（N?）	685 L/s
抽速（Ar）	665 L/s
抽速（H?）	555 L/s
抽速（He）	655 L/s
極限真空(kong)度(du)	標(biao)準版 < 1×10?? hPa；CF-F 版 < 5×10?1? hPa
建議(yi)啟動壓強	≤ 11 hPa
額(e)定(ding)轉(zhuan)速(su)	49,200 RPM（±2%）
運(yun)行電壓	48 VDC ±5%（部(bu)分子型號 24 VDC）
進(jin)氣口法蘭	DN 160 ISO-K / ISO-F / CF-F
排氣(qi)口(kou)法蘭(lan)	DN 25 ISO-KF / G 1/4"
冷卻方(fang)式	風冷（標(biao)配(pei)）/ 水冷（可選，15-35°C，100 L/h）
軸承(cheng)類(lei)型	復合軸(zhou)承（高真空側永磁軸(zhou)承 + 前級側陶瓷球軸承）
噪(zao)音等級	≤ 50 dB(A)
防護(hu)等級	IP54
重量	約 38-44 kg

HiPace 700 子型號差異 ：

子型(xing)號后綴(zhui)	含義	適用場景
標(biao)準(zhun)版	通用(yong)型(xing)，風(feng)冷/水冷可選	大多數(shu)高(gao)真空應用
P（Process）	耐顆(ke)粒設(she)計，耐灰塵(chen)	鍍膜、半導體(ti)、電子束焊(han)接等易受(shou)灰塵影響的工藝(yi)
Plus	微振動 + 低雜散磁場	電子顯微鏡等高要求(qiu)分析設備
H（High Compression）	高壓縮比(bi)，尤其適用(yong)于輕質氣體	超高真空(kong)（UHV）應用
M	5軸磁(ci)懸(xuan)浮軸承，完全無油運行	半導體光刻、離子注入等對振(zhen)動和潔凈(jing)度極致要求的工藝
U（Upside-down）	倒(dao)置安(an)裝專用	特定安(an)裝方向需求
C（Corrosive）	耐腐(fu)蝕氣體版本(ben)	含(han)腐蝕性氣體的工藝(yi)環境

選型建議：科(ke)研實(shi)驗室一般場景選標準版(ban)即可(ke)；若涉及含(han)粉塵工藝（如鍍膜）建議(yi)選 P 系列；若用于 SEM/TEM 等對振動敏感設備，建議選 Plus；若追求極高真空和輕質(zhi)氣體(ti)抽除能(neng)力，選 H 系列。

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問題二： HiPace 700 日常運行需(xu)要(yao)注意什(shen)么(me)？冷(leng)卻系統有什(shen)么(me)要(yao)求(qiu)？

解答（使用(yong)規范(fan)篇(pian)）：

1. 冷卻系統要求 ：

HiPace 700 標(biao)配風冷(leng)，可選配水冷(leng)

水冷參(can)數：冷卻水(shui)溫(wen)度 15-35°C，消(xiao)耗量(liang) 100 L/h，最大水壓 6 bar

風冷套件：可(ke)選(xuan)配普發原(yuan)廠徑向空氣冷卻風扇（型號 PM Z01 303 A），安裝于泵(beng)體側面，由 TC 400 的(de) M12 附(fu)件接口(kou)供(gong)電，泵(beng)啟動(dong)即自動(dong)運行 

若冷卻不足，可能導致泵體過熱報警或(huo)自動(dong)停(ting)機

2. 安裝與環境要求 ：

泵體可任意方(fang)向安裝（Plus 版本(ben)需豎直(zhi)安(an)裝、法蘭口朝(chao)上(shang)）

環(huan)境溫度：風冷(leng) +5°C 至 +35°C，水冷 +5°C 至 +40°C

相對(dui)濕度：T≤31°C 時(shi) ≤80%，T=40°C 時(shi) ≤50%

安裝(zhuang)海拔：≤ 2000 m

進氣(qi)口(kou)建議(yi)加裝防碎網或保(bao)護屏，防止異物進入(ru)

3. 電源與控制器：

標準版使用(yong) 48 VDC 供電，需配合原廠(chang)電源（如 TPS 400 或 DCU 400）

TC 400 電子驅動(dong)單元集(ji)成在泵體上，支持 RS-485 通訊和 Remote 接口遠(yuan)程控制(zhi) 

電(dian)氣(qi)連接時務必確保接地良(liang)好，避(bi)免電(dian)擊風險(xian)

4. 維護提醒：

復合軸(zhou)承分(fen)子(zi)泵建(jian)議 約 17,200 小時或 3-4 年保養一次，工藝惡劣(lie)時應縮短周期 

定期檢(jian)查油棉狀態(tai)（變黑、發黃需更(geng)換）

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問題三： HiPace 700 常見故障(zhang)有(you)哪些？如何排查？

解答（故(gu)障排查(cha)篇(pian)）：

根據普(pu)發維修經驗，HiPace 700 常(chang)見故障及排查步驟如(ru)下(xia) ：

故障現象(xiang)	可能原因	排查動作
真空(kong)度正常、能達到全速，但噪音(yin)大	陶瓷球軸(zhou)承(cheng)磨損（最常(chang)見，運行(xing)超3年高發）	建議送修檢測，放任不管(guan)會磨損轉子造成更嚴重(zhong)損傷
無法(fa)啟動，手撥葉片(pian)無法(fa)轉(zhuan)動	轉子完全(quan)卡死	立即停機送修
運(yun)行中有(you)異響(xiang)	異物進入(ru) / 軸承磨損 / 動平衡破壞 / 前級泵返油	立即(ji)停機，送修(xiu)檢(jian)測
無法達到(dao)全速，真空度抽不(bu)下去	前級真空(kong)問(wen)題 / 系統漏氣 / 泵體污染	檢查前(qian)級泵性(xing)能(neng)；開氣鎮閥(fa)運行一段時間后(hou)再觀察；無(wu)法解決則送修
控制器(qi)報(bao)錯 Err 006	啟動時間設定(ding)太短 / 系統漏氣 / 放氣閥打開 / 前級泵極限真空不足	延長加速時間設定(ding)；逐段(duan)檢(jian)漏；檢(jian)查前級泵
控制器報錯 Err 021 / Err 108	控制器故障	更(geng)換或(huo)維修控制器
控(kong)制器報(bao)錯 Err 117	控制器(qi)問題 / 冷卻不足 / 系統漏氣	檢(jian)查(cha)冷卻系統；檢(jian)漏；控制器檢(jian)測(ce)
油棉(mian)變黑、發黃	正常老化或污染	3-4年定期更(geng)換(huan)油棉，避免污染物(wu)附著(zhu)軸承
分子泵返油	前(qian)級泵返油(you)導致	檢查前級泵(beng)，立即送(song)修(xiu)分子泵(beng)

復位操作(zuo)：可通過斷電(dian)重啟或 Remote 接口(kou)信號復位故障。

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問題四： HiPace 700 多久需(xu)要(yao)保(bao)養一次？保(bao)養包(bao)含哪些內容？

解(jie)答（維護保養(yang)篇）：

1. 保養周期 ：

普發(fa)建議(yi) HiPace 700 復合軸承分子泵約 17,200 運行小時或 3-4 年進行一次(ci)標(biao)準保養

M 系列磁懸浮版本保養間隔可延長至 4 年 

若工藝環境(jing)惡劣（粉塵(chen)多、氣體腐(fu)蝕性強），建(jian)議縮短(duan)至(zhi) 2 年

2. 需要送檢的信號：

噪音明顯增大(da)

振動加劇

抽氣性能顯著下降

控制器(qi)頻繁報警

油棉(mian)顏色異常

達到(dao)保(bao)養周(zhou)期

3. 保養內容 ：

潔凈環境下拆解、清洗泵體內部

更(geng)換(huan)陶(tao)瓷球軸承(cheng)、密封(feng)件等消耗件

更換油(you)棉(mian)（軸(zhou)承潤(run)滑油(you)儲罐）

轉子動(dong)平衡校正

臺架老化測試，記(ji)錄抽速(su)曲線、極限(xian)真空、振動數(shu)據

維修后出具檢測報告(gao)

4. 保養后性能標準：

抽速恢復至新泵標稱值的 95% 以上

振動速度 < 1.0 mm/s (RMS)

啟動時間(jian)正常（≤ 4.5 分(fen)鐘）

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問題五： HiPace 700 噪音大但真空(kong)度正常，需要立即處理嗎(ma)？

解答(da)：

這是(shi) HiPace 系列運行 3 年以上較常見(jian)的現象，通常是內部陶瓷(ci)球軸(zhou)承已磨(mo)損(sun)導致(zhi)的 。

處理建議：

不要(yao)繼續帶病運行——磨損的軸承滾珠碎屑可能損傷高速旋轉(zhuan)的轉(zhuan)子(zi)（49,200 RPM），造成更嚴(yan)重的二(er)次損壞，甚至轉(zhuan)子(zi)報廢

建(jian)議盡快送檢，更換軸(zhou)承組(zu)件和油棉

若放任(ren)不(bu)管，最終可能導致轉(zhuan)子卡(ka)死、整泵報(bao)廢，維修成本(ben)大幅上升

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問題六： HiPace 700 與 HiPace 400 / 300 有什么區別(bie)？怎么選？

解答（系(xi)列對比篇）：

對比(bi)維(wei)度	HiPace 300	HiPace 400	HiPace 700
氮氣抽(chou)速	260-300 L/s	355 L/s	685 L/s
進氣口法蘭(lan)	DN 100 ISO-K/CF	DN 100 ISO-K/CF	DN 160 ISO-K/CF
極限真空(kong)	≤ 7.5×10?11 hPa	≤ 1×10?? hPa	< 1×10?? hPa（CF-F <5×10?1?）
額(e)定轉速	最高 90,000 rpm	49,200 rpm	49,200 rpm
重量	約 23-25 kg	約(yue) 30 kg	約 38-44 kg
適用腔體(ti)	中小(xiao)型真空(kong)腔	中(zhong)型真空(kong)腔	大型(xing)真(zhen)空腔、多腔體系統

選型建議(yi)：

腔體(ti)容積 < 100L，選 HiPace 300 即(ji)可(ke)

腔體(ti)容積 100-200L，HiPace 400 性(xing)價比高

腔體容積 > 200L 或需要快速抽空，選 HiPace 700

OLED 鍍膜機等大型設(she)備，HiPace 700 是行業標配 

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關(guan)于北京地區的 HiPace 700 維修服務

我司 北京博銳(rui)興高(gao)科技有(you)限公司 承接普發(fa) HiPace 全系列分子(zi)泵(beng)的檢測、保(bao)養、維(wei)修服務，服務覆蓋北京海淀區(qu)(qu)中關村、懷(huai)柔科學(xue)城、昌平生(sheng)命科學(xue)園等科研(yan)聚(ju)集區(qu)(qu)。

服務內容(rong)：HiPace 700 軸承更換、動(dong)平衡(heng)校正、油棉更換、控制器維修(xiu)、年度(du)保(bao)養(yang)

服務流程(cheng)：上門初檢 → 診斷(duan)報價 → 潔凈間維修 → 臺架測試 → 現場安裝調試

增值(zhi)服務：維修(xiu)期(qi)間可提供代用泵，保障實驗連續性

服務熱線(xian)北京地區(qu)故障響(xiang)應(ying)：//（7*24）

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